第86章 “野路子”正名

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“星火”研究室的小会议室里，气氛紧张，黑板上画满了密密麻麻的电路图和工艺流程图。

秦念、李文军、张海洋三人正为如何进一步提高“土法光刻”的图形均匀性和分辨率绞尽脑汁。

现有的土法光刻胶涂布不均匀，紫外灯照射也存在边缘效应，导致芯片中心区域和边缘区域的线条宽度不一致，严重影响了良品率和性能一致性。

“要是能有台匀胶机就好了……”张海洋看着显微镜下边缘模糊的线条，唉声叹气。

“还有均匀平行的紫外光源……”李文军补充道，眉头拧成了疙瘩。

秦念没有说话，手指无意识地敲打着桌面。她昨晚刚翻完父亲寄来的那本《半导体物理基础》，里面关于光学干涉和衍射的章节，以及一些傅里叶分析的数学工具描述，让她脑中灵光不断闪现。

她拿起粉笔，在黑板上空着的地方画了几个简单波浪线，试图用最朴素的语言解释一个优化思路：“匀胶机和理想光源我们现在肯定没有。但是，我们或许可以换个‘感觉’。”

她指着那几条波：“你们看，我们现在的涂胶，就像这波浪，高低不平。曝光的光，也是有的地方强，有的地方弱。所以出来的图形自然不均匀。”

李文军和张海洋茫然点头，这现象他们都知道。

“那我们能不能想办法，让胶‘感觉’起来更平一点？让光‘感觉’起来更匀一点？”秦念努力将脑中那个用傅里叶变换分析光强分布、进而通过调整基片旋转速度曲线和光源距离\/角度来补偿不均匀性的复杂概念，翻译成他们能理解的“直觉”，

“比如说，我们在涂胶的时候，不要傻傻地用一个速度转，一开始快一点，中间慢一点，最后再快一点？让胶水靠不同的‘甩劲儿’自己找平？

曝光的时候，光源不要正对着，稍微斜一点点，或者让样品台微微晃动，让光线‘溜达’着照，是不是就能把太强的地方平均一点给弱的地方？”

她的话听起来依旧充满了“土味儿”和“感觉”，但内在却隐隐指向了一种基于光学原理和信号处理的补偿算法雏形！

就在这时，会议室门被推开了。古板的张工程师拿着个笔记本，探头进来，表情一如既往的严肃：“赵组长让我来了解一下你们小批量生产工艺的标准化进展……你们这是在讨论什么？”

他的目光扫过黑板，先是看到那些电路图，微微点头，但当他看到秦念画的那几条波浪线和旁边那些“快一点慢一点”、“斜一点晃一点”的注释时，花白的眉毛立刻拧了起来，脸上露出了“果然还是野路子”的不赞同表情。

李文军连忙起身打招呼，简单解释了一下他们遇到的均匀性问题。

张工扶了扶眼镜，语气带着教训的意味：“工艺参数的优化，需要严谨的实验设计和数据分析，不能靠‘感觉’、‘快慢一点’这种模糊的……嗯？”

他的话语突然顿住了！眼睛猛地瞪大，死死盯住秦念画的那几条波，以及她旁边无意识写下的几个用于形容“波动”的数学符号（w，t）。

他像是被钉在了原地，眉头紧锁，仿佛在极力捕捉一个一闪而过的、惊人的念头。

会议室里瞬间安静下来，只剩下他略显粗重的呼吸声。

几秒钟的死寂后，张工猛地倒抽一口冷气！

“等等！秦工！”他声音陡然拔高，带着难以置信的尖锐，一个箭步冲到黑板前，几乎是抢过秦念手中的粉笔，声音因激动而颤抖，

“你刚才说的‘感觉’……那种不同转速对应不同甩劲……那种让光‘溜达’着照的均匀感……它……它是不是可以……可以用这个来描述？！”

他手腕剧烈抖动，粉笔在黑板上飞速划过，发出刺耳的吱嘎声！一个个复杂的积分符号、傅里叶变换公式、光强分布函数被迅速推导出来！

会议室里鸦雀无声，只有粉笔敲击黑板的哒哒声和张工越来越急促、激动的呼吸声。